Dentro do alto densidade de aço inoxidável dos alvos do diâmetro 123mm

De aço inoxidável alvo de aço inoxidável do tubo OD150*ID123*1091 304

Materiais de alvo na indústria do semicondutor. Os materiais do semicondutor podem ser divididos em materiais e em materiais de embalagem da bolacha. Os materiais de embalagem têm uns mais baixos obstáculos técnicos comparados com os materiais de fabricação da bolacha. Há sete tipos de materiais e de produtos químicos do semicondutor envolvidos na produção da bolacha, uma de que está engasgando materiais de alvo. O material de alvo é um que é bombardeado por partículas carregadas de alta velocidade. Mudando materiais de alvo diferentes (tais como de alumínio, de cobre, de aço inoxidável, o titânio, os alvos do níquel, etc.), os sistemas diferentes do filme (tais como filmes superhard, desgaste-resistentes, resistentes à corrosão da liga, etc.) podem ser obtidos.

A pureza é um dos índices principais do desempenho do material de alvo, porque a pureza do material de alvo tem uma grande influência no desempenho do filme. Mas na prática, as exigências da pureza de materiais de alvo são igualmente diferentes. As impurezas em materiais contínuos e em vapor do oxigênio e de água nos poros são as fontes principais de depósito do filme. A fim reduzir a porosidade do material de alvo contínuo e melhorar o desempenho de engasgar o filme, o material de alvo é exigido geralmente para ter um alto densidade. A densidade é igualmente um dos índices do desempenho chave de materiais de alvo. A densidade do material de alvo afeta não somente a taxa engasgar mas as propriedades igualmente elétricas e óticas dos filmes finos. Mais alta a densidade do alvo, melhor o filme que forma o desempenho. Além, a densidade e a força do material de alvo podem ser melhoradas fazendo o material de alvo suportar o esforço térmico para melhorar durante engasgar.