Alvo de GBT19001 Grey Tube Targets Magnetron Sputtering

Titânio Gr2 ASTM B861-06 do alvo do tubo do titânio o revestimento de vácuo do material de alvo

O material de alvo de revestimento é uma fonte engasgar que possa formar vários filmes funcionais na carcaça pelo magnétron que engasga o chapeamento do íon do multi-arco ou os outros tipos de sistema de revestimento sob circunstâncias tecnologicos apropriadas. Em curto, o alvo é o material de alvo que bombardeia por partículas carregadas de alta velocidade. Quando usadas em armas de laser alta-tensão, as densidades de poder, as formas de onda da saída e os comprimentos de onda diferentes dos lasers interagem com os alvos diferentes, matança diferente e os efeitos da destruição serão produzidos. Por exemplo, o magnétron da evaporação que engasga o revestimento está aquecendo o revestimento da evaporação, o filme de alumínio, etc. que os materiais de alvo diferentes (tais como de alumínio, de cobre, de aço inoxidável, o titânio, os alvos do níquel, etc.) podem ser substituídos para obter sistemas diferentes do filme (tais como o filme duro, desgaste-resistente, anticorrosivo super da liga, etc.)

1) Magnétron que engasga o princípio:
Um campo magnético ortogonal e o campo elétrico são adicionados entre o alvo engasgado (cátodo) e o ânodo, e o gás inerte exigido (geralmente gás da AR) é enchido na câmara de vácuo alto. O ímã permanente forma um campo 250-350 magnético Gaussian na superfície do material de alvo, que forma um campo eletromagnético ortogonal com o campo elétrico de alta tensão. Sob a ação do campo elétrico, a ionização de gás da AR em íons positivos e os elétrons, alvo e têm determinada pressão negativa, da ação do alvo do extremamente afetado pelo campo magnético e do aumento da probabilidade de trabalho da ionização de gás, formam um plasma do alto densidade perto do cátodo, de ião-árgon sob a ação da força de Lorentz, velocidade acima para voar à superfície do alvo, bombardeando a superfície do alvo em uma alta velocidade, os átomos engasgados no alvo seguem o princípio de conversão do impulso e para voar longe da superfície do alvo com a energia cinética mais alta à carcaça e para acumular no filme. Engasgar do magnétron é dividido geralmente em dois tipos: Engasgar da C.C. e radiofrequência que engasgam, que a C.C. que engasga o princípio do equipamento é simples, em engasgar o metal, sua taxa são rápidos. O uso de engasgar do rf é mais extensivo, além do que engasgar materiais condutores, pode igualmente engasgar materiais não-condutores, mas igualmente pode ser reativo engasgando o óxido, o nitreto e o carboneto e outros materiais compostos. Se a frequência da radiofrequência se transforma plasma da micro-ondas que engasga, hoje, engasgar de uso geral do plasma da micro-ondas da ressonância de ciclotrão do elétron (ECR).
2) Tipo de magnétron que engasga o alvo:
Metal que engasga o material de alvo, liga do revestimento que engasga o material de revestimento, material de revestimento cerâmico engasgar, materiais de alvo cerâmicos engasgar do boride, material de alvo cerâmico engasgar do carboneto, material de alvo cerâmico engasgar do fluoreto, materiais de alvo cerâmicos engasgar do nitreto, alvo cerâmico do óxido, material de alvo cerâmico engasgar do selenide, materiais de alvo cerâmicos engasgar do silicide, material de alvo cerâmico engasgar do sulfureto, material de alvo cerâmico engasgar do telluride, outros alvos cerâmicos, alvo cerâmico Chrome-lubrificado do óxido de silicone (CR-SiO), alvo do fosfato do índio (InP), alvo do arsenieto da ligação (PbAs), alvo do arsenieto do índio (InAs).

Vantagens principais
Força alta da especificação da baixa densidade
Personalização feita sob encomenda do pedido
Resistência de corrosão excelente
Boa resistência térmica
Desempenho excelente da baixa temperatura
Boas propriedades térmicas
Baixo módulo elástico